Исследованы ИК спектры отражения и пропускания нанокристаллических плёнок ITO, полученных посредством чередования процессов реактивного ВЧ магнетронного распыления и ионно-лучевой обработки. <...> Показано влияние ионно-лучевой обработки на наличие гидроксильной группы, величину напряжения в системе плёнка-подложка, изменение концентрации носителей заряда. <...> ВВЕДЕНИЕ Прозрачные проводящие покрытия имеют высокую прозрачность в видимом диапазоне спектра, высокое отражение в ИК-области и близкую к металлам проводимость. <...> К таким покрытиям относятся нестехиометричные и легированные оксидные плёнки олова, индия, кадмия, цинка и их различные соединения [1]. <...> Тонкие плёнки оксида индия, легированного оловом (ITO), широко используются как инфракрасные отражатели (рефлекторы) и электроды, прозрачные в видимой области электромагнитного спектра [2]. <...> В основе оптических явлений в полупроводниках лежит взаимодействие электромагнитного излучения со связанными и свободными носителями заряда, атомами кристаллической решётки, примесными атомами, электронно-дырочной плазмой. <...> Электрические свойства проводящих материалов связаны с оптическими, что хорошо описывает теория Друде для свободных электронов [3]. <...> Согласно теории Друде для свободных электронов оптические свойства прямо связаны с положением плазменной частоты и значением времени рассеяния электронов. <...> Плазменная частота оксида индия находится в области ближнего ИК, поэтому этот материал отражает в области среднего ИК и прозрачен в видимом диапазоне [2]. <...> Граница в области ближнего ИК сдвигается в сторону коротких длин волн с ростом концентрации носителей заряда. <...> Сдвиг в ближнем ИК более заметен, чем в ближней УФ области (сдвиг Бурштейна-Мосса). <...> Поэтому окно прозрачности становится эже с ростом концентрации носителей. <...> Это означает, что и проводимость, и окно прозрачности взаимосвязаны друг с другом, так как проводимость также связана с концентрацией <...>