УДК 621.385.833 ПРИМЕНЕНИЕ СИСТЕМ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ И ОБРАБОТКИ ПЕРЕКРЫВАЮЩИХСЯ ИЗОБРАЖЕНИЙ НАНОЧАСТИЦ ПРИ КОНТРОЛЕ ДИСПЕРСНОСТИ ГУЛЯЕВ П.В., ШЕЛКОВНИКОВ Ю.К., ЕРМОЛИН К.С. <...> В статье рассмотрены принципы применения приводов систем позиционирования в процессе контроля дисперсности наночастиц. <...> Представлены возможности использования трения в направляющих предметного столика для улучшения эксплуатационных параметров системы позиционирования. <...> Показано, что применение в приводах датчиков ускорения и алгоритмов обработки перекрывающихся изображений позволяет реализовать координатную привязку наночастиц при небольшом коэффициенте перекрытия. <...> Система позиционирования зондового микроскопа при контроле дисперсности наночастиц в общем случае состоит из устройства позиционирования и программ обработки изображений. <...> Устройство позиционирования обеспечивает перемещение поверхности образца в поле зрения микроскопа таким образом, чтобы получить ряд перекрывающихся изображений, обеспечивающих отображение участка поверхности, значительно превосходящего по площади поле зрения микроскопа. <...> Программы обработки изображений служат для того, чтобы определить сдвиг, угол поворота перекрывающихся изображений и осуществить привязку обнаруженных наночастиц к единой системе координат. <...> Инерционные пьезоэлектрические приводы (ИПП) вращательно-поступательного типа на основе безлюфтовых пар винт-гайка (рис. <...> Инерционный пьезоэлектрический привод ХИМИЧЕСКАЯ ФИЗИКА И МЕЗОСКОПИЯ. <...> Том 17, №2 313 7 Использование данных приводов для контроля дисперсности в сканирующем зондовом микроскопе [3 – 4] подразумевает перемещение с их помощью образца относительно поля зрения сканера. <...> При этом точность приводов должна быть не хуже, чем половина поля зрения сканера, что для точных сканеров может составлять десятки нанометров и менее. <...> В данном случае применение ИПП обосновано их высокой точностью [5 – 7 <...>